Получение тонких пленок реактивным магнетронным распылением

    • Получение тонких пленок реактивным магнетронным распылением

 

О книге

Книга представляет собой подробное справочное руководство по физическим основам, технологическим особенностям и практическому применению процесса реактивного магнетронного нанесения тонких пленок сложного состава, представляющих собой химические соединения металлов или полупроводников с азотом, кислородом или углеродом. Этот процесс уже широко распространен в электронной промышленности и в других отраслях, где используется нанесение покрытий. В книге обобщено современное состояние этого процесса, приведена обширная библиография. Представлено подробное описание физических процессов, протекающих во время реактивного магнетронного нанесения, и следующих из них технологических особенностей магнетронного нанесения. Особое внимание уделено способам управления процессами реактивного магнетронного нанесения тонких плёнок, обеспечивающих стабильность и воспроизводимость как самого процесса нанесения, так и свойств получаемых пленок. Описаны изменения состава и структуры получаемых пленок и их зависимость от параметр

Характеристики


Название
Получение тонких пленок реактивным магнетронным распылением
Автор
Серия
Мир материалов и технологий
Издательство
Техносфера
Язык
Русский
Формат издания
70x100/16
Кол-во страниц
260
Год выпуска
ISBN
978-5-94836-369-1
Barcode
9785948363691


Средняя цена
599
Книгу можно купить в 1 интернет-магазинах

   
OZON.ru 599

  Электронная книга
ЛитРес 349
9785948363691

Книги категории Технические науки в целом

Проектирование насосных станций и испытание насосных установок - В. Ф. Чебаевский, К. П. Вишневский, Н. Н. Накладов
В. Ф. Чебаевский, К. П. Вишневский, Н. Н. Накладов 919
Общая теория измерений - Д. Д. Грибанов
Д. Д. Грибанов 309